真空炉中常用的几种真空系统基本参数

真空炉中常用的几种真空系统基本参数

真空炉品种多，对真空系统的要求不一样。就真空度而言，有低真空、中真空和高真空系统。下面介绍几种常用的真空系统。1．低真空系统它适用于真空度在1333～2Pa范围的真空热处理炉，如预抽低真空井式炉。大多以油封式旋转机械泵为主泵的系统。2．中真空系统它适用于真空度在1.333～3×10Pa范围的真空热处理炉。中真空系统在真空热处理炉真空烧网炉中应用最广泛，其通常有两级真空泵机组组成。初级泵多采用旋转机械泵或滑阀式机械泵，主泵为机械增压泵(罗茨泵)或油增压泵。3．高真空系统它适用于真空度在1.333×1O～6．6×10Pa范围的真空热处理炉，如真空退火炉、真空钎焊炉。其通常有三级真空泵机组组成，主泵通常采用油扩散泵、离子泵，初级泵大都也是采用旋转机械泵或滑阀式机械泵，前级泵为机械增压泵(罗茨泵)或油增压泵。
真空系统的基本参数真空热处理炉的真空系统主要参数有极限真空度、工作真空度、抽气时间、抽气速率、漏气率(压升率)。极限真空度真空炉在空炉、冷态下所能达到的最高真空度称为极限真空度。极限真空度是考核真空炉各零部件的加工和装配质量、真空机组的抽气能力与极限真空、炉体的密封与漏气和真空卫生情况的重要指标。通常，真空炉的极限真空度应低于主泵一个数量级左右。